LPCVD(低壓力化學氣相沉積系統)
- 制造廠商：英國Thermco Systems
- 購置日期：暫無信息
- 型號：DFS250
- 生產國別：英國
- 儀器類別：工藝實驗設備
- 安放地址：江蘇省
跨區域科技政策：
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- 儀器詳情
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退火、氧化
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暫無信息
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1、常壓退火，溫度控制顯示精度全量程0.1°C；爐體外部三點控溫，各個SPIKE測量點都采用雙熱電偶，在一只熱電偶斷路時另一只能繼續完成工藝；工藝器期間，爐體內部使用profile精確控溫模式。 2、程序控制單元，氣體/壓力控制精度±0.5%；
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電子與通信技術
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100片6英寸、100片四英寸基片或100片兩英寸基片退火氧化，工藝氣體N2/O2。
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285nm?SiO2熱氧化
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300元/小時，通氧氣時外加300元/小時
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